Материал проводников в МПЛ должен иметь высокую электропроводность, малую величину температурного коэффициента сопротивления, хорошую адгезию к подложке, хорошую растворимость в химическом травителе, легко осаждаться при вакуумном напылении или нанесении гальваническим методом.
Таблица 3
Металл | Ag | Cu | W | Mn | Rt | Cr | Ta | Au |
Объемная проводимость, 6,175,81,781,760,910,770,644,1 | ||||||||
Нормированная толщина скин-слоя , мкм2,032,093,763,85,25,756,262,19 |
Исходя из требований проводимости и дешевизны выбираем Cu.
Другое по теме:
Разработка цифрового фильтра Цифровая обработка сигналов (ЦОС) как направление науки появилась в 1950-х годах, представляя собой довольно экзотическую отрасль радиоэлектроники, практическая ценность которой была не совсем очевидна. Но за прошедшие пятьдесят лет ...